Розроблення крокового електроприводу установки нанесення тонких плівок при виробництві мікросхем

У даній роботі розроблений регульований електропривод керування підйомником стола масок із застосуванням крокового двигуна, що підвищує продуктивність і якість продукції. Розроблена механічна части...