Студентські роботи

Розроблення крокового електроприводу установки нанесення тонких плівок при виробництві мікросхем

Єндіяров, Є.О.

У даній роботі розроблений регульований електропривод керування підйомником стола масок із застосуванням крокового двигуна, що підвищує продуктивність і якість продукції. Розроблена механічна частина електропривода стола масок, створена система автоматизованого керування електроприводом, побудовані логарифмічні АЧХ та ФЧХ системи автоматичного керування, система перевірена на стійкість за критерієм Михайлова. Проведені дослідження крокового електропривода, які допомогли підвищити добротність слідкуючого контуру електропривода за рахунок збільшення граничної швидкості обертання двигуна або зменшення його динамічної похибки.

Українська

2022

виробництво інтегральних мікросхем

Національний університет "Полтавська політехніка імені Юрія Кондратюка"

Єндіяров Є.О. Розроблення крокового електроприводу установки нанесення тонких плівок при виробництві мікросхем: кваліфікаційна робота магістра за спеціальністю 141 Електроенергетика, електротехніка та електромеханіка / Є.О. Єндіяров. – Полтава: Національний університет імені Юрія Кондратюка, 2022. – 81 с.