Розроблення та дослідження автоматизованого електроприводу двокоординатного модуля для виробництва інтегральних мікросхем

У даній роботі спроектований автоматизований електропривод двокоординатного модуля для виготовлення інтегральних мікросхем. В даній установці використовується лінійний кроковий двигун с аеростатичн...